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微光電實驗室 機台介紹：蝕刻類機台 - 中央大學

儀器中文名稱：感應式耦合電漿化學氣象沉積; 儀器廠牌及型號：BMR-FP2319R2; 設備規格：. Power supply：600W (CW) and 13.56MHz operation frequency ...

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