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高階結構陶瓷於半導體製程設備之應用

常見的陶瓷材料有氧化鋁、氧化鋯、氮化矽、碳化矽陶瓷等。除了高純度的需求以外，在燒結後要能形成微晶粒陶瓷(<1μm)，當材料晶粒逐漸縮小時， ...

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