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Heater - 半導體設備消耗性零件
Heater是在半導體CVD或PVD製程中的晶片載台同時提供製程所需的溫度, 為關鍵性的零組件。 一般Heater的材質有鋁、不銹鋼、陶瓷..等製成。 本公司可提供 ...
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