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以奈米壓印技術製作高磊晶品質與光萃取效率氮化鎵發光二極體
在本研究中,我們利用Nanoimprint Lithography (NIL) 製作二氧化矽圓錐狀圖型基板以及內嵌中空空氣孔洞模板,並成功成長成氮化鎵系列之發光二極體。
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