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不需要EUV光刻机:铠侠开发NIL半导体工艺 - 游戏硬件
与目前已实用化的极紫外光(EUV)半导体制程细微化技术相比,NIL更加减少耗能且大幅降低设备成本。因NIL的微影制程较单纯,耗电量可压低至EUV生产方式 ...
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