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在CH3COOH/Ar 气体混合物中电感耦合等离子体反应离子蚀刻 ...

随着CH3COOH/Ar 气体混合物中CH3COOH 浓度的增加，CoFeB 薄膜的蚀刻速率和蚀刻轮廓中的各向异性程度降低，而线圈射频功率和直流偏置电压的增加以及气压的降低提高了蚀刻 ...

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