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ULVAC CRYOGENICS INC｜[低温泵入门4 ]

低温泵的性能中①冷却降温特性②排气速度（抽速） ③排气容量④最大流量⑤交叉压力⑥极限 ... 对冷凝在80K挡板上而被排出的气体（如CO2,NH4）用同样的方法可计算。

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