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TW201904063A - 具有金屬閘極之半導體元件之製作方法

第二功函數金屬層162可為一具有n型導電型式之n型功函數金屬層，例如鋁化鈦(titanium aluminide，TiAl)層、鋁化鋯(zirconium aluminide，ZrAl)層、鋁化鎢(tungsten ...

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