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經表面處理氮化鎵之特性研究

(GaN) 表面處理，於蒸鍍鈦/鋁(Ti/Al) 金屬後即形成特徵接觸電阻. 值5.0×10-5 Ω-cm2 之歐姆接觸(ohmic contact) ... 觸金屬的功函數[20] 以及改善金屬- 絕緣體- 半導體 ...

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