在用钛铝合金(TiAl)作为功函数金属层的高-k金属栅极NMOS晶体管中,当金属栅极的长度从1μm减小到30 nm时,金属栅极的有效功函数从4.00 eV增加到4.28 eV。当栅极的长度固定在30 ...
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