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解離反應
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電漿技術與應用專題 - 台灣儀器科技研究中心
另外解離反應時間約數十奈秒,加熱反應時間則約數百奈秒,因此若能在數十奈秒內施加能量進行解離,也可避免溫度上升。此外也可以使用增加氣體流量、插入介電質、加電阻 ...
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