你即將離開本站

並前往http://cnmm.site.nthu.edu.tw/var/file/188/1188/img/251/768021623.pdf

【製程設備】總覽與收費標準 - 國立清華大學奈微與材料科技中心

快速熱退火系統 ... 邊皆為金屬操作區，右半邊為黃光製程操作區) 。 ... 光阻與矽的蝕刻比大於25，以實現更小的線寬、線距，而達成高解析度製程之需求。

確定！ 回上一頁

查詢 「製程退火」的人也找了：

  1. 半導體退火原理
    2.
  2. 製程退火的目的在 使鋼
    3.
  3. 半導體退火目的
    4.
  4. 球化退火
    5.
  5. 快速熱退火原理
    6.
  6. 完全退火
    7.
  7. 黃銅退火
    8.
  8. 應力消除退火
    9.