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5 Thermal Processes

廣泛使用在退火製程. • H. 2. O 有時被使用環繞在PSG或BPSG再流動. 中. • 在STI形成過程中氧氣被使用在USG退火上. • 低等級的氮氣使用在閒置時的吹除淨化.

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