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退火爐 - 矽碁科技股份有限公司

該製程包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理旨在達到不同的效果。 ... 該過程稱為退火。 爐子退火可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化，也可以單獨處理。

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