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SiC專用超高溫快速退火設備 - 揚博科技提供半導體

產品說明： SiC Wafer專用,可對應快速的升溫降溫,並實現安定的均溫性,Cassette to Cassette的全自動搬送之量產設備。可有效降低金屬雜質的污染度。 ○對應製程 退火, 1,900 ...

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