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CVD | Applied Materials

反應性氣體在射頻電漿中分解，形成反應性自由基或離子；這些自由基或離子會在加熱的基板上發生化學反應，形成薄膜。 CVD 薄膜的種類有幾種。最常用的薄膜電晶體- 液晶 ...

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