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疊層缺陷 - 解釋頁

... 的缺陷，也就是對於正規的堆積，增多一個原子面或漏掉一個原子面之構造。主要產生在結晶生長中，特別以磊晶法生長之矽晶圓，在氧氣中加熱之矽晶圓表面最常看見。

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