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熱處理製程- PPT

熱處理製程. ◇ 半導體元件製造可說是熱處理的反覆進行。 ◇ 在熱擴散為主流的時期，也曾以1200℃ 的高溫進行處理。目前熱處理的最高溫度約為900℃ ...

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