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行政院環境保護署主管法規共用系統

第2 條本標準專有名詞及符號定義如下： 一、半導體製造業：指從事積體電路晶圓製造、晶圓 ... 填充段空塔滯留時間應大於○‧五秒及填充物比表面積應大於九○ m 2 /m 3 。

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