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矽奈米線場效電晶體之研究

制原理（Stress Limited Oxidation），設計製作完全環繞式閘極之矽奈米線 ... 步，元件尺寸越做越小，進入了「奈米元件時代」。 ... 抽真空將樣品晶片吸附固定住。

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