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精準揪出製程缺陷奈米電性量測明察秋毫 - 新電子

而先進製程中的故障分析，對於研發與產能來說更是至關重大，但元件尺寸越做越小，如何在僅有數奈米的微小尺度下，進行電晶體的特性量測以及缺陷處定位 ...

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