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7奈米以下半導體制程FIB光束需升級「單顆原子」纔夠力

現在已有「單原子離子光源技術」科學研究成果，能提升現有FIB設備，光源尺寸僅單顆原子大小，約0.3 奈米，最快有機會在2024年問世。FIB（聚焦離子束）設備具備顯微 ...

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