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超高真空離子束沈積碳/矽/碳多層奈米複合薄膜藉由熱退火機制 ...

在真空熱退火下達成其奈米碳化矽的尺寸、密度及退火溫度之改變，以提供碳、矽之間化合所需的熱能，使介面之擴散反應遽增，也因為碳、矽原子表面自由能 ...

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