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如何利用表面分析工具，抓出半導體製程缺陷 - TechNews 科技 ...

因此，就需靠最常用來檢測奈米薄膜的工具-歐傑電子能譜（AES, Auger Electron Spectroscopy）與 X 光光電子能譜（XPS, X-ray Photoelectron ...

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