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thinner稀釋劑
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稀釋劑廢液回收乙酸正丁酯 - 工業廢棄物清理與資源化資訊網
時,光阻劑容易在基板邊緣堆積或殘留,為避免導致生產線污染,必須要使用稀釋劑. (Thinner)來剝離殘留於邊緣之光阻劑,因而有稀釋劑廢液產生,其產生流程如圖一所.
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