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TWI610138B - 稀釋劑組成物及其用途

依據光源的種類、感光膜的性能等等，用於形成感光膜的光阻劑包括各種主要成分的樹脂、光敏劑等等。 同時，在光罩蝕刻製程中，稀釋劑(thinner)組成物指的是對光阻劑具有溶解 ...

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