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蝕刻技術

化學 腐蝕反應的方式，. 或物理撞擊的方式，或. 上述兩種方式的合成效 ... 濕式蝕刻法利用化學溶液. 腐蝕晶圓上擬去除的材料 ... High HF, but Low HNO.

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