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《科技與創新》先進半導體薄膜設備智慧製程技術 - 自由財經

製程參數就像食譜配方，不同參數組合，都會影響良率。半導體電子元件動輒上千道製程中，複雜反應有如黑盒子，只靠人工調整找到最佳參數，曠日廢時。

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