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運用田口實驗分析手法最佳化離子植入機台

狀態下使用，為求掌握機台最佳特性，自89年11月起，開始針對機台的各種參數變因，逐步 ... 設計田口式實驗，將機台參數間的 ... Recipe，可做為機台測均勻度及氫含量之.

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