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類神經網路於預測半導體機台異常值之應用

對於製程精密度的要求使得這些生產機台的控制參數(Recipe)也是動輒成千上百，其中只要有些許的關鍵值偏差，就有可能造成製程偏離(Excursion)，使得辛苦生產的晶圓良率 ...

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