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類神經網路於預測半導體機台異常值之應用 - 博碩士論文網

先進的半導體製程皆是由非常精密且複雜的機台所生產。對於製程精密度的要求使得這些生產機台的控制參數(Recipe)也是動輒成千上百，其中只要有些許的關鍵值偏差， ...

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