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Nanoindentation原理| 5分鐘了解奈米壓痕原理與測試資源

Bercovich是一種三角錐的探針，由於探針尺寸為nanometer等級. 因此許多需要精細物性量測就會運用奈米壓痕技術，特別是半導體製程與薄膜物性量測的應用上更為廣泛.

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