低擁有成本,高生產量的線上製程監控; 以清楚的物理意義進行簡單測量,如晶圓質量和質量改變; 高靈敏度,具備次奈米級(sub-nanometer)薄膜偵測功能; 靈敏度會隨著元件 ...
確定! 回上一頁