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MUMPs製程(Multi User MEMS Process) | Ansforce

由美國柏克萊感測與致動中心(BSAC)於1990年代所提出的微機電系統標準製程，並且成為後來微機電系統代工產業的始祖，MUMPs製程可以製作出設計者所要求 ...

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