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locos製程
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https://books.google.com.tw/books?id=9DFsDwAAQBAJ&pg=PA92&lpg=PA92&dq=locos%E8%A3%BD%E7%A8%8B&source=bl&ots=nyMFq7fk19&sig=ACfU3U0yE9SZpoY6bjr-si4FwNdRB21SOg&hl=zh-TW&sa=X&ved=2ahUKEwjd_5val-D1AhXI0KQKHfSHDN4Q6AF6BQieAhAD
高科技產業製程安全技術與管理: 本質較安全設計
電晶體閘極(Gate)製作此製程目的,要在已完成的主要動作區域上製作出電晶體的閘極(G), ... N4 層蝕刻案轉換至 Si3N4 層上,以作為 LOCOS 製程的罩幕之用。
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