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locos製程
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LOCOS之bird's beak(鸟嘴效应) - 芯片版图
在传统的硅的局部氧化(LOCOS)过程中,当氧扩散穿越已生长的氧化物时,它也会在其它方向上扩散。一些氧原子纵向扩散进入硅,另一些氧原子横向扩散, ...
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