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locos製程
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Chapter 7 電漿的基礎原理
列出至少三種用到電漿的半導體製程. • 列出電漿中的主要三種碰撞. • 說明平均自由路徑. • 說明電漿如何增強蝕刻及CVD 製程 ... LOCOS 或STI 製程中氮化物剝除.
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