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locos製程
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微電子實驗室暑期讀書會 - 心得報告
本次的讀書會是由柏蓉為大家講解半導體製程及元件物理。 ... 一一解釋每道製程。在active region採用LOCOS會有bird beak的問題,隨後改採STI來解決。
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