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八、在積體電路製造技術中 - 題庫堂

... 技術中，採用的絕緣技術有局部氧化（Local Oxidation of Silicon,LOCOS）和淺溝槽 ... 請分別說明局部氧化與淺溝槽絕緣的製作技術、缺點與應用在那一種線寬製程？

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