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LOCOS工藝與溝道終止注入 - 多源焦點

LOCOS 被廣泛應用於工藝特徵尺寸0.3μm及以上的CMOS和Bi-CMOS工藝集成電路。 ... 連接二是用作器件的固定或定位如果從工藝製程上來說，這些過孔一般又分 ...

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