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氧化與擴散 - Scribd

多晶矽沉積• 擴散– 氮化矽沉積• 退火• 快速加熱製程(RTP) ... 較厚的氧化層, LOCOS氧化層• 乾氧氧化有較好的品質製程溫度薄膜厚度氧化時間 ...

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