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Silvaco TCAD Athena & Atlas 實作範例 - Facebook

此結果90 nm 的Vt ～0.38eV，會常開，不怎麼合理，也不會用LOCOS 製程。模擬主要是模擬出電場分佈，所以跟結構，電荷分佈有強相關。包含所有熱預算。90nm 需考慮到短 ...

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