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locos製程
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製程整合簡介
矽的局部氧化(LOCOS) 3.淺溝槽絕緣(STI) 1.非自我對準式的閘極製程2.自我對準式的閘極製程3.低摻雜汲極(LDD) 4.臨界電壓調整佈植5.
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