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微電子材料與制程【第九章氧化,介電層】
而絕緣體,其功能在做為各元件間的隔離(如LOCOS 技術中的場氧化矽,STI 技術中的充填介電質),閘極氧化 ... 積體電路製程中,二氧化矽層的成長是一項不可或缺的步驟。
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