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locos製程
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下一代積體電路金屬化製程技術Metallization Processing for ...
散阻障層可提升銅金屬化製程與金屬矽化物接觸之接面的熱穩定性。由實驗結果發現氮流量比在 ... 所造成的短路等缺點,是鈦-Salicide製程應用 ... 氧化(LOCOS)製程。
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