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半導體製程技術 - 聯合大學

矽的局部氧化製程. 氮化矽. P型基片. P型基片. 氮化矽 p+ p+ p+. 絕緣摻雜. P型基片 p+ p+ p+. 絕緣摻雜. SiO. 2. 襯墊氧化層. 襯墊氧化, 氮化矽沉積及圖案化. LOCOS ...

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