1. 真空区域划分. 真空区域. 压强范围. 托(Torr). 帕(Pa). 低真空. 760~10 · 2. 流速与漏率. Pa·l/s. mbar·l/s. Torr·l/s. atm·cm3/s. sccm. 1Pa·l/s · 3. 抽气速率单位换算 ...
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