本研究是以LDS與濺鍍(Sputtering)兩種金屬薄膜製程,分別製備三種不同厚度的金屬 ... 的金屬鎳以製備薄膜天線,盡管以濺鍍製程製備薄膜天線的銅薄膜厚度遠低於LDS製程 ...
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