此第一蚀刻操作被设置为利用干涉量测终点(IEP,Interferometry Endpoint)侦测法来 ... 实施IEP蚀刻终点侦测的蚀刻化学品范例, 第一组替代性化学品C 2F 6/CH 2F 2/O 2 ...
確定! 回上一頁