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gan sic比較
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行政院原子能委員會委託研究計畫研究報告
一、氮化鎵長在碳化矽(GAN ON SIC)前晶粒製程技術背景介紹. 25 ... 表二不同GaN 磊晶用基板比較表. ... 表三雷射剝蝕製程和乾蝕刻製程的背穿孔比較.
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